Kerucut Berkas Ion

SIKAIDA Ion Beam Cone adalah komponen inti sistem implantasi dan transmisi berkas ion. Terbuat dari bahan keramik canggih dengan kemurnian tinggi dan diproses melalui cetakan injeksi presisi dan sintering suhu tinggi, bahan ini memiliki kandungan pengotor yang sangat rendah, tahan suhu tinggi, dan akurasi dimensi yang stabil. Mereka dapat dikerjakan menjadi geometri yang kompleks untuk memenuhi persyaratan toleransi yang sangat tinggi, sehingga cocok untuk proses implantasi ion semikonduktor berkinerja tinggi.

Sebagai produsen profesional di Tiongkok, SIKAIDA menyediakan kerucut berkas ion yang andal, hemat biaya, dan dapat disesuaikan kepada pelanggan di seluruh dunia dalam bidang semikonduktor, layar panel datar, optik, sistem mikroelektromekanis (MEMS), dan energi surya. SIKAIDA adalah pemasok jangka panjang yang tepercaya dan pabrik manufaktur khusus untuk komponen proses berkas ion kelas atas.

Bahan dan Manufaktur

1. Bahan

Ion Beam Cones menggunakan bahan antara lain alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian ≥99,9%, silikon nitrida (Si₃N₄) dengan kemurnian ≥99,5%, zirkonium oksida (ZrO₂) dengan kemurnian ≥99,8%, dan silika leburan (99,999%). Semua bahan memenuhi standar kemurnian ketat industri semikonduktor dan cocok untuk persyaratan kinerja berbagai aplikasi.

2. Proses Pembuatan

Proses pembuatannya meliputi pencetakan injeksi presisi, sintering suhu tinggi, pemesinan presisi CNC, pemolesan tingkat cermin, serta pembersihan dan pengujian otomatis. Setiap proses dikontrol secara ketat untuk presisi dan kualitas guna memastikan bahwa produk akhir memenuhi standar industri dan kebutuhan pelanggan.

Parameter Produk Utama

1. Akurasi Dimensi

Kerucut Sinar Ion memiliki toleransi yang dikontrol dalam ±0,05mm, kekasaran permukaan Ra≤0,4μm, akurasi lancip lubang internal ±0,02mm, koaksialitas ≤0,03mm, dan tegak lurus ≤0,02mm. Akurasi dimensi yang sangat tinggi ini secara efektif memastikan ketepatan transmisi berkas ion.

2. Perawatan Permukaan

Perawatan permukaan meliputi pemolesan mekanis untuk penyelesaian cermin, pelapisan UV-cured untuk meningkatkan sifat permukaan, pelapisan anti gores untuk meningkatkan ketahanan aus, dan pengawetan asam serta pasivasi untuk menghilangkan kotoran dan meningkatkan stabilitas. Metode pengobatan yang tepat dapat dipilih berdasarkan kebutuhan aplikasi.

3. Indikator Kinerja

Ion Beam Cones beroperasi dalam kisaran suhu -196℃ hingga +800℃, memastikan pengoperasian yang stabil di lingkungan bersuhu ekstrem. Bahan ini memiliki resistivitas volume ≥10¹⁴Ω·cm dan resistivitas permukaan ≥10¹²Ω, sehingga menunjukkan sifat insulasi yang sangat baik. Mereka juga memiliki ketahanan yang luar biasa terhadap korosi plasma dan kimia, sehingga memungkinkan mereka beradaptasi dengan lingkungan proses yang kompleks.

Keuntungan Inti

1. Kemurnian Sangat Tinggi: Kemurnian bahan mentah melebihi 99,9%, meminimalkan kontaminasi wafer semikonduktor, memastikan kinerja listrik perangkat yang stabil, dan memenuhi persyaratan kemurnian yang ketat dari manufaktur semikonduktor.

2. Akurasi Geometris yang Sangat Tinggi: Memastikan dimensi produk yang konsisten selama produksi massal, dengan kesalahan lancip dikontrol dalam ±0,05mm dan kesalahan kebulatan ≤0,02mm, secara tepat sesuai dengan persyaratan pemasangan dan penggunaan sistem transmisi berkas ion.

3. Kualitas Permukaan Seperti Cermin: Kekasaran permukaan Ra≤0,4μm, secara efektif mengurangi hamburan berkas ion, meningkatkan keseragaman transmisi berkas ion, dan selanjutnya mengoptimalkan akurasi implantasi perangkat semikonduktor.

4. Stabilitas Kisaran Suhu yang Luas: Beroperasi secara stabil di lingkungan kriogenik yang dalam hingga suhu tinggi. Bahan ini memiliki koefisien muai panas yang sangat rendah, menjaga stabilitas dimensi yang sangat baik bahkan dengan perubahan suhu, mencegah dampak kinerja dari fluktuasi suhu.

5. Isolasi dan Ketahanan Korosi yang Sangat Baik: Secara efektif mencegah akumulasi muatan selama transmisi berkas ion dan tahan terhadap asam kuat, alkali kuat, dan berbagai korosi plasma, memastikan pengoperasian stabil jangka panjang di lingkungan proses yang kompleks.

Layanan yang Disesuaikan

Model dan ukuran produk dapat disesuaikan sesuai dengan kebutuhan proses yang berbeda. Format gambar yang didukung meliputi STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF, dan sampel fisik. Mengenai waktu pengiriman, pengiriman sampel adalah 4-7 minggu, dan pengiriman produk batch adalah 8-12 minggu. Sistem mutu kami mematuhi standar ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH, dan SEMI, yang secara komprehensif memastikan kualitas produk dan efisiensi pengiriman.

Area Aplikasi

Kerucut Berkas Ion banyak digunakan di berbagai bidang, termasuk implantasi ion dalam manufaktur semikonduktor, peralatan pemrosesan pada layar panel datar, sistem deposisi berkas ion (IBD) dan etsa berkas ion (IBE) dalam manufaktur perangkat optik, manufaktur sistem mikroelektromekanis (MEMS), peralatan doping ion untuk sel surya, dan proses implantasi ion untuk perangkat semikonduktor daya seperti transistor bipolar gerbang terisolasi (IGBT) dan MOSFET daya.

Pertanyaan yang Sering Diajukan:

Q1: Bahan apa yang biasanya digunakan dalam Kerucut Sinar Ion?

A1: Kami terutama menggunakan bahan keramik canggih seperti alumina dengan kemurnian tinggi (Al₂O₃), silikon nitrida (Si₃N₄), dan zirkonium oksida (ZrO₂). Bahan-bahan ini memiliki kemurnian yang sangat tinggi, ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, dan sifat listrik yang stabil.

Q2: Dapatkah UET memberikan spesifikasi khusus dan perawatan permukaan? 

A2: Ya. UET dapat menyesuaikan ukuran, lancip, jenis bahan, dan perawatan permukaan kerucut sesuai dengan kebutuhan proses Anda. Kami memiliki pengalaman manufaktur yang luas dan dapat memenuhi persyaratan aplikasi spesifik pelanggan.

Q3: Bagaimana presisi dan kualitas Ion Beam Cones dijamin?

A3: Kami mengadopsi sistem manajemen mutu ISO9001:2015 dan dilengkapi dengan peralatan pengujian presisi tinggi, termasuk mesin pengukur koordinat, penguji kekasaran permukaan, dan spektrometer fluoresensi sinar-X, untuk memastikan bahwa setiap batch produk memenuhi standar industri yang ketat.

Q4: Bagaimana siklus pengirimannya?

A4: Siklus pengiriman sampel adalah 4-7 minggu, dan siklus pengiriman produk batch adalah 8-12 minggu. Siklus spesifiknya bergantung pada kompleksitas produk dan jumlah pesanan.